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半導體工業氣浮式隔振器結構力學
時間: 2023-05-30 13:58 瀏覽次數：
半導體工業氣浮式隔振器具有測量、生產加工技術、材料與集成電路技術、電子器件技術、半導體工業氣浮式隔振器的使用越來越普遍。例如，承載所有暴露組件的光刻技術可測量框架的振動降低。危及減振特性的一個標準是減振設備的共振頻率和阻尼系數。在阻尼作用下，共同地震區的減振效果非常明顯，而共同地震區以外的情況正好相反。因此，為了保證其他阻尼系統軟件的阻尼特性，有必要根據實際情況設置系統軟件阻尼。目前，典型的半導體工業氣浮式隔振器采用固定節流閥填料和氣體節流閥減振。本產品減振調整結構復雜，難以保證。此外，在多個阻尼調節桿的操作過程中，無法保證每組徑向預埋孔的規格一致。
一種根據氣缸調節氣固兩相流減振耦合效果的半導體工業氣浮式彈簧減振器，其理論力學數字模型。彈簧減震器在外管內設有連接管，彈簧風道總成在內管上方兩側，外管通過上沖頭的密封與空氣彈簧風道的下部連接。內缸按固定位置與上環形后蓋板和彈簧氣室密封連接。進氣口和排氣口設置在外缸的外內壁上，一組環形布置的噴嘴設置在外缸的內側，在外缸下方具有密封性。配置環形底板，液壓桿通過環形后蓋板裝入內缸腔內，傾斜鍍鋅鋼絲繩的頂端固定在環形后蓋板上，傾斜鍍鋅鋼絲繩的底端固定在頭部下方。液壓桿和傾斜鍍鋅鋼絲繩構成單擺結構。固定負載板固定在液壓桿上方。內缸底端裝有鋼彈簧。柔性門鉸鏈的下部組裝在活塞桿上方，柔性門鉸鏈的頂部組裝在液壓桿下方。
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